超声波扫描显微镜

品牌： CASIC
名称：超声波扫描显微镜
型号： AMC99026
用途：用于材料表层及内部缺陷检测

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AMC99026超声波扫描显微镜，作为一款跨学科、多功能、高分辨率的显微成像仪器，具有穿透性检测能力，可检测材料或结构内部微小缺陷且实时显示检测结果，检测分辨率可达到微米级别。该设备配套的超声显微测量软件，可以实现三轴运动平台、超声激励接收仪和数字化仪等模块的控制，最终实现超声A扫描、C扫描及快速扫描等功能。该设备广泛应用与半导体封装产品线、材料科学、失效分析和元器件检测等领域。

功能描述

n 用于材料表层及内部缺陷检测

n 扫描系统：X轴/Y轴采用超高性能线性电机驱动系统，具有防震系统和惯性平衡扫描机构

n 扫描方式：具备 A扫描（点扫描）、B扫描（纵向扫描）、C扫描（横向扫描）和快速扫描模式

n 扫描设置：可显示探头的X/Y/Z三维坐标；可显示当前设定的扫描范围

n 具有扫描界面追踪功能

n 图像显示：可直观显示被测件内部缺陷的位置、形状和大小

n 图像对位：可通过点击C扫图的具体像素点将探头移动至与实际被测工件相对应的位置，并可以精确查看实际位置处的超声A扫信号

n Z轴自动对焦，不仅可对焦到样品表面，而且还可以对样品内部任意界面自动对焦

n 报告自动生成：可对检测结果自动进行编辑并输出报告文档，可直接生成扫描分析报告，报告包含扫描图片、设置参数、A扫描波形等

性能特征

技术原理

超声C扫描检测原理

n 在进行超声C扫描检测时，需要将被测试件放置于水槽中，三维运动机构带动水浸式超声聚焦换能器在预设扫描范围内蛇形运动扫查。换能器采用脉冲回波（pulse–echo）工作模式，超声波在被测试件内部沿直线传播，当超声波透过被测试件表面、遇到缺陷（例如孔隙、裂纹、不均匀组织等）时，会发生折射，反映在时域信号当中即为直达波、缺陷回波以及底面回波。

测试案例

材料检测

n 硅晶圆试件检测